一种冷凝净化设备的制造方法

文档序号:9360516
一种冷凝净化设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种冷凝净化设备,其用于对烘烤设备排出的高温废气进行冷凝净化处理。
【背景技术】
[0002]在彩色滤光片(Color Filter,简称CF)的制作工艺中,烘烤设备(即OVEN设备)用于对经曝光、显影后的产品进行烘烤,即藉于加热方式将残存在彩色光阻膜内的溶剂(solvent)强制挥发出,以达成形成彩色滤光片的目的。
[0003]现有技术中由于采取对彩色滤光片进行直接加热方式去除彩色光阻膜内的溶剂,所以烘烤设备内部会升华形成大量的溶剂升华物,这些溶剂升华物经由排气管路排出。在这些溶剂升华物经由排气管路排出的过程中,由于温度降低会使溶剂升华物凝结,造成排气管路内溶剂升华物凝结越来越多,从而使排气管路的排气量减小,同时也给排气管路的清洁带来困扰。

【发明内容】

[0004]为了解决上述现有技术存在的问题,本发明的目的在于提供一种冷凝净化设备,其包括:进气装置、冷却装置、过滤装置、排气装置;其中,所述进气装置、所述冷却装置、所述排气装置依次连通,所述过滤装置设置于所述冷却装置中;所述冷却装置与外部环境连通,由所述进气装置进入到所述冷却装置中的高温气体与进入到所述冷却装置中的外部低温空气混合降温,同时所述过滤装置对所述高温气体中的杂质进行冷凝过滤,经所述冷却装置和所述过滤装置冷凝处理后的气体由所述排气装置排出。
[0005]进一步地,所述进气装置包括:进气管、进气腔体体;其中,所述进气管与所述进气腔体体连通,所述进气腔体体与所述冷却装置连通。
[0006]进一步地,所述冷却装置包括:冷却腔体、通风装置;其中,所述通风装置安装于所述冷却腔体上,所述通风装置用于使所述外部低温空气进入到所述冷却腔体中,所述冷却腔体与所述进气腔体连通。
[0007]进一步地,所述通风装置包括:片状体及开设在所述片状体上的若干开口 ;其中,所述片状体安装于所述冷却腔体上,所述外部低温空气通过所述若干开口进入到所述冷却腔体中。
[0008]进一步地,所述开口的大小可调节。
[0009]进一步地,所述过滤装置包括:滤网;其中,所述滤网插置于所述冷却腔体中。
[0010]进一步地,所述过滤装置还包括:承载托架;其中,所述承载托架包括:手柄及与所述手柄连接的环形托架,所述滤网可拆卸地安装于所述环形托架中,所述环形托架插置于所述冷却腔体中。
[0011]进一步地,所述排气装置包括:排气腔体、排气管;其中,所述排气腔体与所述冷却腔体连通,所述排气管与所述排气腔体连通。
[0012]进一步地,所述冷凝净化设备还包括:抽风机,用于提高经由所述通风装置进入到所述冷却腔体中的所述外部低温空气的气体量。
[0013]进一步地,所述冷凝净化设备还包括:固定支架;其中,所述进气装置、所述冷却装置、所述过滤装置、所述排气装置及所述抽风机均安装在所述固定支架上。
[0014]本发明的有益效果:本发明的冷凝净化设备通过提前对进入排气管路的高温气体进行降温及凝结过滤处理,以避免高温气体在排气管路凝结堵塞排气管路;同时由于滤网能够拆卸,所以非常方便对滤网进行清洁或更换,也解决了现有技术的排气管路难以清洁的问题。
【附图说明】
[0015]通过结合附图进行的以下描述,本发明的实施例的上述和其它方面、特点和优点将变得更加清楚,附图中:
[0016]图1是根据本发明的实施例的冷凝净化设备的立体示意图;
[0017]图2是根据本发明的实施例的冷凝净化设备的正视示意图;
[0018]图3是根据本发明的实施例的过滤装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0019]以下,将参照附图来详细描述本发明的实施例。然而,可以以许多不同的形式来实施本发明,并且本发明不应该被解释为限制于这里阐述的具体实施例。相反,提供这些实施例是为了解释本发明的原理及其实际应用,从而使本领域的其他技术人员能够理解本发明的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改。在附图中,为了清楚器件,夸大了层和区域的厚度。相同的标号在整个说明书和附图中可用来表示相同的元件。
[0020]图1是根据本发明的实施例的冷凝净化设备的立体示意图。图2是根据本发明的实施例的冷凝净化设备的正视示意图。
[0021]参照图1和图2,根据本发明的实施例的冷凝净化设备包括:进气装置1、冷却装置2、过滤装置3、排气装置4 ;其中,进气装置1、冷却装置2、排气装置4依次连通,过滤装置3设置于冷却装置2中,冷却装置2与外部环境连通,由进气装置I进入到冷却装置2中的高温气体与进入到冷却装置2中的外部低温空气混合降温,过滤装置3对降温后的高温气体进行凝结过滤处理,经冷却装置2和过滤装置3处理后的气体由排气装置4排出。
[0022]此外,作为本发明的其他实施方式,可在冷却装置2中设置气体混合装置(诸如旋转叶片等),以加快高温气体与外部低温空气的混合效率。
[0023]在实际应用中,烘烤设备(即OVEN设备)在对产品进行烘烤后产生的高温溶剂升华物由进气装置I进入到冷却装置2中,其与进入到冷却装置2中的外部低温空气进行混合降温,降温后的高温溶剂升华物凝结在过滤装置3上,之后,被降温过滤后的气体由排气装置4排出到排气管路。这样,通过提前对进入排气管路的高温溶剂升华物进行降温凝结等处理,以避免高温溶剂升华物在排气管路中凝结而堵塞排气管路。
[0024]具体地,进气装置I包括:进气管11及与进气管11相连通的进气腔体12 ;其中,进气管11可设置在进气腔体12的上表面上,进气腔体12与冷却装置2的冷却腔体21连通。烘烤设备产生的高温溶剂升华物由进气管11进入到进气腔体12中,并经由进气腔体12进入到冷却装置2中。
[0025]冷却装置2包括:冷却腔体21、通风装置22 ;其中,冷却腔体21的一侧与进气腔体12连通,冷却腔体21的另一侧与排气装置4的排气腔体41连通;通风装置22可设置在冷却腔体21的上表面上,其用于使外部低温空气进入到冷却腔体21中。
[0026]进一步地,通风装置22包括:片状体221及开设在片状体221上的若干开口 222 ;其中,外部低温空气通过这些开口 222进入到冷却腔体21中。进一步地,开口 222的大小可被调节被。在本实施例中,可通过滑动调节杆来回滑动挡片来调节控制开口 222的大小,但本发明并不限制于这种调节方式。
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