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微观装置的制造及其处理技术
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mems真空封装结构及封装方法.本发明涉及半导体真空封装,具体涉及一种mems真空封装结构及封装方法。.mems真空封装主要包括金属封装、陶瓷封装、晶圆级封装以及像素级封装等。目前阶段金属封装和陶瓷封装技术封装成熟,但是封装成本较高;晶圆级封装因为无需管壳,大幅降低了封装成...
MEMS设备和用于操作MEMS设备的方法与流程
mems设备和用于操作mems设备的方法.本公开的实施例涉及mems(微型机电系统)设备,诸如包括压电换能器和可偏转结构的mems设备。另外的实施例涉及用于操作mems设备的方法。具体地,实施例涉及用于抵消可偏转结构的偏转的装置和方法,诸如压电换能器的力反馈控制。.流体(例如气体(...
一种传感器的形貌控制方法及其应用与流程
.本发明涉及半导体,具体而言,涉及一种传感器的形貌控制方法及其应用。.带有梳齿结构的惯性传感器的结构制造工艺可以很好的兼容常规的集成电路制造工艺,因而受到广泛关注,常见的带有梳齿结构的惯性传感器包括梳齿结构电容式加速度传感器。.带有梳齿结构的惯性传感器的结构制作通常是通过晶圆直接键...
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mems封装结构及mems真空封装结构.本发明涉及半导体真空封装,具体涉及一种mems封装结构及mems真空封装结构。.mems真空封装主要包括金属封装、陶瓷封装、晶圆级封装以及像素级封装等。目前阶段金属封装和陶瓷封装技术封装成熟,但是封装成本较高;晶圆级封装因为无需管壳,...
一种微滴阵列的扫描式定制加工与封装方法及系统
.本发明属于芯片设计,具体涉及一种微滴阵列的扫描式定制加工与封装方法及系统。.近几十年来,针对固体材料的微纳加工技术实现了将复杂电子功能集成在微纳米尺度的电子器件上,促成了现代电子产业的革命式发展。类似的,在软物质和液体材料领域采用微型化策略,研究将其加工装配成介观尺度液滴微系统的...
一种微机械堆叠结构和连杆结构的利记博彩app
.本实用新型涉及mems(微电子机械系统)结构连接领域,特别涉及一种微机械堆叠结构和连杆结构。.mems(微电子机械系统)多层运动结构有时会需要上下膜层通过连杆连接,来达到联合运动的效果。.传统薄膜工艺在释放后所形成的薄膜连杆结构,其垂直转角结构容易因薄膜本身的残余应力在结构释放后产生微往...
狭缝元件及装置
.本实用新型涉及一种狭缝元件及装置,属于微纳米颗粒灵敏度检测领域。.目前,狭缝的设计与装置难以达到纳米量级,微纳米颗粒的机械实时检测受到限制;另外,随着狭缝尺度逐渐减小,当微纳米颗粒经过狭缝时,其重力加速度的影响随着颗粒本身尺度的降低而减小,微纳米颗粒的运行轨迹不可能是直线运动轨迹。因此,...
一种基于蓝宝石基底的
一种基于蓝宝石基底的au@ag微纳阵列的制备方法.本发明涉及一种基于蓝宝石基底的au@ag微纳阵列的制备方法,属于图案化纳米材料的制备。.纳米科学与技术的发展为人类认识物质世界提供了新的视角,已经成为了一个相对独立的学科,用先进的分析仪器作为技术手段,在纳米尺度探索并研制新...
单片集成电路及其制造方法与流程
.本发明涉及电子设备,尤其涉及一种单片集成电路及其制造方法。.mems器件是微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem),是一种小型的器件或结构系统,其中可能包括集成的机械器件和电子器件,感应即时的或者局部环境变化。或者有相应信号输入时,对即时的或者...
传感器封装结构及电子设备的利记博彩app
.本申请涉及封装结构,更具体地,本申请涉及一种传感器封装结构及电子设备。.现有的封装结构包括基板、壳体和传感器,和壳体连接形成容纳腔,传感器设置在容纳腔内,并且传感器与基板连接。基板上开设有通孔,传感器通过通孔感测外界的环境信息。外部的积水或灰尘容易通过通孔进入容纳腔内,从而对传感...
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一种mems光电传感器的封装结构及其制造方法.本发明属于半导体制造,具体涉及一种mems光电传感器的封装结构及其制造方法。.近年来,在智能手机、穿戴式产品、小家电等设备中,mems光电传感器得到了越来越广泛的使用;其主结构是通过将mems发射光芯片与mems接收光芯片集成一...
一种控制液液界面运动的芯片利记博彩app及芯片
.本申请涉及芯片形成,特别是涉及一种控制液液界面运动的芯片利记博彩app及芯片。.自然界中的许多过程都发生在液液界面上,例如,由水和油等不混溶液体形成的液液界面有着不同于溶液的独特结构,可以带来很多特殊的性能,被广泛应用在材料合成、相转移催化、电化学和药物传送等领域。.但是由于液液界面的...
一种非制冷红外焦平面探测器微桥的制备方法与流程
一种非制冷红外焦平面探测器微桥的制备方法.本发明涉及一种非制冷红外焦平面探测器的制备方法,尤其涉及一种非制冷红外焦平面探测器微桥的制备方法。.基于cmos工艺实现的mems非制冷红外探测器已在军事和商用领域得到广泛应用,如夜视、探矿、自动驾驶、火灾防控等。该探测器的核心技术为具有较高响应率...
竖直堆叠的的利记博彩app
竖直堆叠的mems装置和控制器装置.相关申请的交叉引用.本申请要求年月日提交的第/,号美国临时专利申请的权益,所述美国临时专利申请的公开内容由此以全文引用的方式并入本文中。.本公开的技术涉及微电子封装件及其制造工艺。更具体地,本公开的技术涉及具有竖直堆叠结构的微电子封装件,所述竖直堆叠结构...
阳极键合结构的利记博彩app
阳极键合结构、硅压阻式压力传感器及其制备方法.本发明涉及半导体,特别涉及一种阳极键合结构、硅压阻式压力传感器及其制备方法。.硅压阻式压力传感器(传感芯片),由于其具有易于工业化大批量制备,成本较低,非线性度好、可靠性高等优点,因而被广泛地应用于工业控制、消费电子、医疗设备、...
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mems芯片保护结构和mems器件.本发明涉及mems芯片可靠性,具体而言,涉及一种mems芯片保护结构和mems器件。.随着mems器件在汽车、工业、航空、航天等领域的需求增加,这些场景所面临的冲击振动环境对mems器件的可靠性提出了挑战,例如:高g值冲击(峰值可达数百至...
一种基于介电润湿效应下的薄膜的剥离方法及应用
.本发明实施例涉及薄膜的剥离,具体涉及一种基于介电润湿效应下的薄膜的剥离方法及应用。.薄膜作为一种具备多种优异性能的通用材料,被广泛应用于纳/微机电系统(nano/microelectromechanicalsystems,nems/mems)、软体机器人(softrobot...
宽调谐范围的可调谐的利记博彩app
宽调谐范围的可调谐mems-vcsel.本发明涉及激光器,具体提供一种宽调谐范围的可调谐mems-vcsel。.垂直腔面发射激光器,简称(vcsel),它具有低阈值电流、圆形光斑、高调制带宽、单纵模激射、易于实现高密度二维阵列、制作成本较低等诸多优点,在许多领域中都具有广泛...
一种离子耐受性微纳米马达及其制备方法与应用
.本发明属于微纳米马达,尤其涉及一种离子耐受性微纳米马达及其制备方法与应用。.微纳米马达是一种能够将周围环境中的化学或外部能量转化为机械运动微纳米粒。微纳米马达的自主运动特性使其在生物医学领域受到了广泛关注。与传统的处于热力学平衡态、只进行布朗运动的微纳米载体不同,微纳米马达精准的...
微细加工方法与流程
.本发明属于半导体集成电路制造领域,特别是mems制造工艺领域。.金、铂等重金属具有高导电性和导热性、以及优良的耐蚀性和可焊性,广泛应用于集成电路、光电元件与微机电系统等行业,上述重金属作为制造许多微纳器件或结构、特别是mems器件或结构的重要材料,还有一个优点是诸如金的薄膜制备相对容易,...
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