真空泵及其控制方法与流程

文档序号:20922349 发布日期:2020-05-29 14:18
真空泵及其控制方法与流程

本发明涉及一种具有永磁同步马达的真空泵及其控制方法。



背景技术:

机械增压泵是使配置在壳体内部的泵室中的两个茧型泵转子(マユ型ポンプロータ)在相互相反的方向上同步旋转,从而将气体从进气口向排气口输送的容积输送型的真空泵。在机械增压泵中,由于在两个泵转子之间以及各泵转子与壳体之间没有接触,因而机械损失非常少,与例如油旋转真空泵那样的摩擦功大的真空泵相比,具有能够减少驱动所需要的能量的优点。

机械增压泵典型地与辅助泵一起构成真空排气系统,用于在辅助泵将压力下降至一定程度之后开始运转,以增大排气速度。

在这种真空泵中,作为使各泵转子旋转的驱动源,广泛使用密封式马达(cannedmotor)。密封式马达具有插入转子铁芯与定子铁芯之间的间隙的圆筒状的壳(can)。由于转子铁芯被壳密封,因而可防止经由轴承部侵入转子铁芯内的气体向大气(外部空气)侧漏出。例如,在专利文献1中公开了一种永磁同步型的密封式马达。

另一方面,在永磁同步马达中,固定在转子铁芯上的永磁体具有温度特性,因而伴随着温度变化的永磁体的磁通量的变化可能会对马达控制或泵性能产生很大影响。例如,若马达温度因高负载而变为高温,则马达会因永磁体的磁通量的减少而失步,从而不能得到期望的泵性能。

另外,即使假设以额定动力在稳定的温度下发挥的磁通量,从启动时到变为稳定温度之前也无法维持泵性能。

为了解决这样的问题,例如在专利文献2中提出了一种泵装置,该泵装置通过安装在永磁体电动机的壳体部的温度检测器来检测逆变器内部的温度,根据由温度检测器检测出的温度来推定永磁体的温度,基于推定的温度对用于控制电动机的控制常数进行修正。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2008-295222号公报

专利文献2:日本特开2016-111793号公报



技术实现要素:

发明要解决的问题

在专利文献2所记载的泵装置中,基于电动机的壳体部的温度来推定永磁体的温度。然而,由于上述壳体部的温度特性与转子铁芯的永磁体的温度特性不同,因而难以实现电动机的适当的转速控制。

鉴于以上的情况,本发明的目的在于,提供一种即使产生了热波动也能够稳定地维持泵性能的真空泵及其控制方法。

用于解决问题的手段

为了达成上述目的,本发明的一形态的真空泵,具有泵主体、第一温度传感器、马达以及控制单元。

上述泵主体具有旋转轴和金属制成的壳体部。

上述第一温度传感器安装于上述壳体部,并检测上述壳体部的温度。

上述马达具有包括永磁体且安装于上述旋转轴的转子铁芯、具有多个线圈的定子铁芯以及收纳上述转子铁芯的壳。

上述控制单元具有驱动电路和修正电路。上述驱动电路基于预先设定的感应电压常数,向上述多个线圈供给使上述马达旋转的驱动信号。上述修正电路基于上述第一温度传感器的输出,来修正上述感应电压常数。

根据上述真空泵,由于第一温度传感器构成为,检测泵主体的壳体部的温度,该泵主体的壳体部以具有与转子铁芯的永磁体相同的热时间常数的方式构成,因而可以提高永磁体的温度的推定精度。由此,即使产生热波动,也能够实现感应电压常数的最优化,因而能够稳定地维持泵性能。

典型地,上述修正电路构成为,在上述壳体部的温度在规定的温度范围的情况下,修正上述感应电压常数,来使上述壳体部的温度越高,则上述马达的感应电压越低。

由此,能够防止因随着马达温度上升而永磁体的磁通量减少导致的马达的失步,能够实现真空泵的高负载连续运转。

上述修正电路也可以构成为,在上述壳体部的温度为第一温度以上且小于第二温度的情况下,根据具有第一温度坡度的第一近似直线,来修正上述感应电压常数,在上述壳体部的温度为上述第二温度以上且小于第三温度的情况下,根据具有与上述第一温度坡度不同的第二温度坡度的第二近似直线,来修正上述感应电压常数。

上述控制单元可以还具有检测上述驱动电路的温度的第二温度传感器。在上述驱动电路的温度为上述第三温度以上的情况下,上述驱动电路停止向上述多个线圈供给上述驱动信号。

由于检测驱动电路的温度的第二温度传感器与第一温度传感器分开设置,因而能够适当地检测驱动电路的温度。

本发明的一形态的真空泵的控制方法是具有永磁同步型的马达的真空泵的控制方法,包括基于预先设定的感应电压常数,生成使上述马达旋转的驱动信号。

基于在构成泵主体的一部分的金属制成的壳体部上安装的温度传感器的输出,来修正上述感应电压常数。

发明的效果

如上所述,根据本发明,即使产生热波动,也能够稳定地维持泵性能。

附图说明

图1是从本发明的一实施方式的真空泵的一侧观察时的整体立体图。

图2是从上述真空泵的另一侧观察时的整体立体图。

图3是示出上述真空泵的内部结构的概略放大横剖视图。

图4是示出上述真空泵的内部结构的概略侧剖视图。

图5是概略地示出上述真空泵中的控制单元的结构的框图。

图6是示出通过上述控制单元控制修正电路的内部电压的控制例的图。

图7是示出在规定条件下运转时的上述真空泵的各部的温度变化的一个实验结果。

图8是说明上述真空泵中的第一温度传感器的安装例的立体图。

图9是说明使用上述第一温度传感器的温度检测方法的等效电路图。

图10是说明上述控制单元中的修正电路的作用的概念图。

图11是示出基于上述第一温度传感器的马达的转子铁芯推定温度与输入电压之间的关系的图。

图12是示出通过上述控制单元执行的处理顺序的一个示例的流程图。

具体实施方式

以下,参照附图,说明本发明的实施方式。

(整体结构)

图1是从本发明的一实施方式的真空泵的一侧观察时的整体立体图,图2是从上述真空泵的另一侧观察时的整体立体图,图3是示出上述真空泵的内部结构的概略放大横剖视图,图4是示出上述真空泵的内部结构的概略侧剖视图。

在图中,x轴、y轴以及z轴示出相互正交的3个轴方向。

本实施方式的真空泵100具有泵主体10、马达20以及控制单元30。真空泵100由单级的机械增压泵构成。

(泵主体)

泵主体10具有第一泵转子11、第二泵转子12以及收纳第一及第二泵转子11、12的壳体13。

壳体13具有:第一壳体部131、配置在第一壳体部131的y轴方向的两端的隔壁132、133以及固定在隔壁133上的第二壳体部134。第一壳体部131以及隔壁132、133形成收纳第一及第二泵转子11、12的泵室p。

第一壳体部131及隔壁132、133例如由铸铁或不锈钢等铁基金属材料构成,经由未图示的密封环相互结合。第二壳体部134例如由铝合金等非铁基金属材料构成。

在第一壳体部131的一侧的主面上,形成有与泵室p连通的进气口e1,在其另一侧的主面上,形成有与泵室p连通排气口e2。与未图示的真空室的内部连接的进气管与进气口e1连接,排气口e2与未图示的排气管或辅助泵的进气口连接。

第一及第二泵转子11、12通过由铸铁等铁基材料构成的茧型转子构成,在x轴方向上相互相向地配置。第一及第二泵转子11、12分别具有与y轴方向平行的旋转轴11s、12s。各旋转轴11s、12s的一端部11s1、12s1侧可旋转地支撑于固定在隔壁132上的轴承b1,各旋转轴11s、12s的另一端部11s2、12s2侧可旋转地支撑于固定在隔壁133上的轴承b2。在第一泵转子11与第二泵转子12之间以及在各泵转子11、12与泵室p的内壁面之间,形成有规定的间隙,各泵转子11、12构成为相互之间以及与泵室p的内壁面不接触地进行旋转。

在第一泵转子11的旋转轴11s的一端部11s1,固定有构成马达20的转子铁芯21,在转子铁芯21与轴承b1之间,固定有第一同步齿轮141。在第二泵转子12的旋转轴12s的一端部12s1,固定有与第一同步齿轮141啮合的第二同步齿轮142。通过马达20的驱动,第一及第二泵转子11、12经由同步齿轮141、142相互地向反方向旋转,由此从进气口e1向排气口e2输送气体。

(马达)

马达20由永磁同步型的密封式马达构成。马达20具有转子铁芯21、定子铁芯22、壳23以及马达机壳24。

转子铁芯21被固定在第一泵转子11的旋转轴11s的一端部11s1。转子铁芯21具有电磁钢板的层积体以及安装在其周面上的多个永磁体m。永磁体m以使极性沿着转子铁芯21的周围(n极、s极)交替地不同的方式配置。

在本实施方式中,作为永磁体材料,使用钕磁体或铁氧体磁体等铁基材料。并不特别限定永磁体的配置形态,可以是在转子铁芯21的表面配置有永磁体的表面磁体型(spm),也可以是在转子铁芯21中嵌入有永磁体的嵌入磁体型(ipm)。

定子铁芯22被配置在转子铁芯21的周围,被固定在马达机壳24的内壁面。定子铁芯22具有电磁钢板的层积体以及卷绕在其上的多个线圈c。线圈c通过包括u相绕组、v相绕组以及w相绕组的三相绕组构成,分别与控制单元30电连接。

壳23被配置在转子铁芯21与定子铁芯22之间,内部收纳转子铁芯21。壳23由pps(聚苯硫醚)、peek(聚醚醚酮)等合成树脂材料构成,是齿轮室g侧的一端开口的有底的圆筒构件。壳23经由在其开口端部侧的周围安装的密封环s而固定在马达机壳24上,使转子铁芯21相对于大气(外部空气)密封。

马达机壳24例如由铝合金构成,收纳转子铁芯21、定子铁芯22、壳23以及同步齿轮141、142。马达机壳24经由未图示的密封环而被固定于隔壁132,从而形成齿轮室g。齿轮室g收纳用于润滑同步齿轮141、142以及轴承b1的润滑油。在马达机壳24的外表面,典型地设置有多个散热片。

马达机壳24的前端被盖25覆盖。在盖25上设置有能够与外部空气连通的通孔,并且被构成为能够经由与马达20相邻配置的冷却风扇50来冷却转子铁芯21和定子铁芯22。也可以成为取代冷却风扇50或除了冷却风扇50之外,还能够将马达机壳24水冷的结构。

(控制单元)

图5是概略地示出控制单元30的结构的框图。

如图5所示,控制单元30具有驱动电路31、位置检测部32以及sw(开关)控制部33。控制单元30用于控制马达20的驱动。控制单元30由收纳在设置于马达机壳24的金属制等的机壳内的电路基板或在该电路基板上搭载的各种电子部件所构成。

驱动电路31生成使马达20以规定的转速旋转的驱动信号。由具有多个半导体开关元件(晶体管)的逆变器电路构成。这些半导体开关元件通过sw控制部33分别地控制开闭时机,由此分别生成向定子铁芯22的线圈c(u相绕组、v相绕组以及w相绕组)供给的驱动信号。

驱动电路31具有温度传感器42(第二温度传感器)。温度传感器42检测驱动电路31的温度,在该温度在规定温度(例如90℃)以上的情况下,驱动电路31停止向线圈c供给驱动信号。由此,使马达20处在空转(freerun)的状态,从而能够防止马达20的进一步的温度上升。

位置检测部32与定子22的线圈c电连接。位置检测部32根据由于与线圈c相交的磁通量(磁链)的随时间的变化而在线圈c上产生的反电动势的波形,来间接地检测转子铁芯21的磁极位置,并将其作为控制对线圈c的通电时机的位置检测信号来向sw控制部33输出。

sw控制部33基于感应电压常数(ke)以及由位置检测部32检测出的转子铁芯21的磁极位置,向驱动电路31输出用于对定子铁芯22的线圈c(三相绕组)进行励磁的控制信号。即,sw控制部33根据通过位置检测部32得到的转子铁芯的磁极位置来检测马达20的负载扭矩,基于该负载扭矩生成使马达20不失步地旋转的控制信号,并向驱动电路31输出该控制信号。感应电压常数是用于控制马达的感应电压的控制参数,典型地,在sw控制部33中预先设定根据转子铁芯21(永磁体m)的磁通量的强度、真空泵的规格或运转条件等决定的任意的值。

其中,若连续进行高负载运转,则泵主体10会因机械功等而发热,马达20也会因涡流损失等而发热。若转子铁芯21的温度上升,则永磁体m的磁通量减少(退磁),马达20变得容易失步。若马达20失步,则不能获得期望的泵性能。因此,在马达20发热时,需要能够不使马达20失步且维持泵性能的技术。

本实施方式的真空泵100构成为,推定转子铁芯21(永磁体m)的温度,并基于该推定的温度,来修正上述感应电压常数。即,为了防止因马达温度的变化而使逆变器(驱动电路31)中设定的感应电压常数与转子铁芯的永磁体m的磁通量发生偏差,通过将逆变器的感应电压常数修正为与马达的磁通量的变化相符合,来防止马达20的失步。

其中,马达20的感应电压由从驱动电路31到线圈c的输入电压控制。输入电压由后述的修正电路331的内部电压(vout)(参照图9)决定。典型地,如图6所示,修正电路331的内部电压被设定为,马达温度变得越高,则修正电路331的内部电压变得越低。修正电路的内部电压的值由感应电压常数决定。

本实施方式的真空泵100基于泵主体10的第一壳体部131的温度来推定转子铁芯21的温度,并基于该推定值来修正感应电压常数。由于第一壳体部131由金属制材料构成,因而具有与转子铁芯的永磁体相同的热时间常数。由此,提高了转子铁芯21以及永磁体m的温度的推定精度,能够实现在高负载运转时的马达的适当的驱动控制。

图7是示出在40℃的外部空气温度下连续排气(负载运转)2小时以上后,停止运转并释放(冷却)大气时的真空泵100的各部的温度变化的一个实验结果。在该图中,转子温度p1示出转子铁芯21的温度,线圈温度p2示出线圈c的温度,泵机壳温度p3示出第一壳体部131的温度,马达机壳温度p4示出马达机壳24的表面温度。

此外,在p1的测定中,参照了设置在马达机壳24的前端的放射温度计的输出(为了抑制由测定区域的辐射率的不同而产生的影响,将测定区域涂黑,来调整了辐射率)。在p2~p4的测量中,参照了设置在各个部位的热敏电阻等温度测量元件的输出。

如图7所示,泵机壳温度p3相当于由与转子铁芯21(永磁体m)相同的fe类的材料构成的第一壳体部131的温度,与线圈温度p2或马达机壳温度p4相比,具有与转子温度p1基本相同的温度特性。推测其原因是,第一壳体部131面向作为运转时的升温源之一的泵室p,并且具有散热特性与转子铁芯21同等的热容量。因此,通过参照泵机壳温度p3,能够以比较高的精度推定转子铁芯21的温度。

因此,本实施方式的真空泵100具有检测第一壳体部131的温度的温度传感器41(第一温度传感器)。温度传感器41中采用热敏电阻,但不限于此,也可以采用热电偶等其他温度测量元件。温度传感器41的输出经由配线电缆43输入sw控制部33。

不特别限定温度传感器41的安装方法,例如,如图8所示,可使用螺钉等适当的固定工具61将温度传感器41固定在第一壳体部131的外表面。也不特别限定安装温度传感器41的第一壳体部131的部位,可以是第一壳体部131的一端侧(隔壁132侧),也可以是另一端侧(隔壁133侧),也可以是它们的中间部。

sw控制部33具有修正电路331,该修正电路331基于温度传感器41的输出,对作为马达20的控制参数的感应电压常数进行修正。在本实施方式中,修正电路331构成为sw控制部33的一部分,也可以由sw控制部33之外的电路构成。

图9是示出sw控制部33、修正电路331以及温度传感器41之间的关系的等效电路。温度传感器41经由分压电阻40与sw控制部33连接,由温度传感器41和分压电阻40构成的分压电路的输出(vout)向修正电路331输入。分压电路的输出(vout)相当于修正电路331的内部电压。

在第一壳体部131的温度处于规定的温度范围的情况下,修正电路331修正感应电压常数,来使第一壳体部131的温度越高,则马达20的感应电压越低。由此,能够防止因马达20的热波动导致的失步,例如能够防止随着马达温度上升而永磁体m的磁通量减少导致的马达20失步,从而能够实现真空泵100的高负载连续运转。

例如,图10是示出通过修正电路331修正感应电压常数的一个示例的概念图,示出基于温度传感器41的输出推定的转子铁芯21的温度与感应电压常数之间的关系。转子铁芯21的推定温度越高,则修正电路331使感应电压常数变得越小。也就是说,与不论马达温度如何都以恒定的感应电压常数驱动马达20的比较例不同,通过与随着温度上升而产生的永磁体m的磁力减少量相适应的感应电压常数,来驱动马达20。由此,不会使马达20产生失步,能够稳定地驱动真空泵100。

进而,在图10的示例中,在0℃以上的温度范围内,感应电压常数相对于转子铁芯21的推定温度线性变化。在该情况下的感应电压常数的斜率被设定为与永磁体m的温度系数相对应。在永磁体m的温度系数是非线性的情况下,感应电压常数的坡度也能够设定为非线性。修正感应电压常数的温度的下限不限于0℃,可以高于0℃或低于0℃。

说明基于温度传感器41的输出的转子铁芯21的温度的推定方法。

图11示出温度传感器41的输出的温度特性。温度传感器41使用作为半导体部件的热敏电阻,并且具有与转子铁芯21(永磁体m)不同的非线性温度特性。因此,修正电路331基于温度传感器41的输出,在40℃~90℃的温度范围内,如图中粗实线所示,设定用于推定转子铁芯21(永磁体m)的温度的近似直线ap,获得与近似直线ap相对应的温度作为转子铁芯21的推定温度。修正电路331基于获得的推定温度,修正感应电压常数(图10)。

例如,在温度传感器41的检测温度为70℃的情况下,修正电路331的内部电压为4.5v(图11)。修正电路331从近似直线ap获得与其内部电压的值相对应的转子铁芯21的推定温度(在本例中为80℃),将感应电压常数修正为与该推定温度相对应的值(参照图10)。

进而,如图11所示,在通过温度传感器41检测出的第一壳体部131的温度为第一温度th1(40℃)以上且小于第二温度th2(70℃)的情况下,本实施方式的修正电路331根据具有第一温度坡度的第一近似直线ap1,来修正感应电压常数。

另一方面,在通过温度传感器41检测出的第一壳体部131的温度为第二温度th2以上且小于第三温度th3(90℃)的情况下,修正电路331根据具有与上述第一温度坡度不同的第二温度坡度的第二近似直线ap2,来修正感应电压常数。

根据在40℃以上且90℃以下的温度传感器41的输出的温度特性来适当设定上述第一及第二坡度。在本实施方式中,以该温度范围内的转子铁芯21的推定温度比由温度传感器41检测出的温度高例如10℃左右的方式,将第一温度坡度设定得大于第二坡度。这样。通过将转子铁芯推定温度推定得稍高,能够切实地防止在该温度范围内的马达20的失步。

第一~第三温度th1~th3是一个示例,能够根据马达的种类或规格进行各种适当的变更。第一及第二近似直线ap1、ap2也能够根据温度传感器41的温度特性进行适当的设定。近似直线并不限于2条,可以设定为1条或3条以上。近似表达式不限于直线,可以是曲线,或者,近似表达式可以不是连续的,也可以是离散的。

在第一壳体部131的温度小于第一温度th1(40℃)的情况下,修正电路331将转子铁芯21(永磁体m)的温度推定为第一温度th1。另一方面,在第一壳体部131的温度为第三温度th3(90℃)以上的情况下,修正电路331将转子铁芯21(永磁体m)的温度推定为第三温度th3。若驱动电路31的温度达到90℃以上,则如上所述,驱动电路31基于温度传感器42(参照图5)的输出,停止生成驱动信号。

修正电路331构成为,当检测到温度传感器41的配线电缆43断线时,以停止真空泵20的驱动的方式使马达20停止,或以变为空转的状态的方式控制驱动电路31。配线电缆43的断线能够基于分压电路的输出(vout)(参照图9)来进行检测。

(真空泵的动作)

接着,说明以如上方式构成的本实施方式的真空泵100的典型的动作。

图12是示出通过控制单元30执行的处理顺序的一个示例的流程图。

若真空泵100开始运转,则控制单元30基于预先设定的(修正前的)感应电压常数(ke)生成使马达20以规定的转速旋转的驱动信号。通过马达20的运作,使第一及第二泵转子11、12旋转,发挥规定的泵的功能,即,将从进气口e1吸入的未图示的真空室内的气体从排气口e2排出。

若连续高负载运转,则泵主体10会因机械功等而发热,马达20也会因涡流损失等而发热。若转子铁芯21的温度上升,则永磁体m的磁通量减少(退磁),马达20变得容易失步。若马达20失步,则不能获得期望的泵性能。

因此,控制单元30(修正电路331)基于在构成泵主体10的一部分的铁基的壳体部(第一壳体部131)安装的温度传感器41的输出,来修正用于控制马达20的感应电压的感应电压常数。

更详细地说,如图12所示,修正电路331基于温度传感器41(第一温度传感器)的输出,来获得第一壳体部131的温度(步骤101)。然后,修正电路331判定第一壳体部131的温度是否为第一温度th1(40℃)以上,在小于第一温度th1的情况下,将转子铁芯21(永磁体m)的温度推定为第一温度th1,并且在不变更控制常数的情况下使马达20的驱动继续(步骤102、103)。

另一方面,在第一壳体部131的温度为第一温度th1以上且小于第二温度th2(70℃)的情况下,修正电路331根据第一近似直线ap1,以使感应电压降低的方式修正感应电压常数(图6、10、11、步骤104、105)。

在第一壳体部131的温度为第二温度th2以上且小于第三温度th3(90℃)的情况下,修正电路331根据第二近似直线ap2(参照图11),以使感应电压降低的方式修正感应电压常数(图6、10、11、步骤106、107)。

如上所述,由于修正感应电压常数,来使第一壳体部131的温度越高,则马达20的感应电压越低,因而能够使马达20不产生失步,并能够稳定地驱动真空泵100。在马达20的感应电压的修正前后,典型地,转速不发生变化且维持恒定。因此,可以稳定地维持泵性能。

在机械增压泵中,有时在更高负载(大气压附近)下,使用屡次降低转速来对泵进行保护的扭矩限制器。在该情况下,泵做的功降低,从而使马达转子温度以及泵主体温度降低,因此,随之提高感应电压常数,从而在扭矩限制器中也可以实现稳定控制。

在第一壳体部131的温度在第三温度th3以上的情况下,控制单元30将转子铁芯21(永磁体m)的温度推定为第三温度,并通过与第三温度相对应的感应电压常数继续驱动马达20。若马达20的温度进一步上升,则基于驱动电路31内的温度传感器42的输出,来停止通过驱动电路31生成驱动信号,使马达20处于空转的状态。在由于配线电缆43的断线等而不能获得来自温度传感器41的输出时,也同样地使马达20处于空转的状态。

重复执行以上的动作,直至进行真空泵100的运转停止操作为止(步骤109)。

根据本实施方式,由于温度传感器41构成为,检测第一壳体部131的温度,该第一壳体部131由具有与转子铁芯21的永磁体m相同的热时间常数的材料构成,因而可以提高永磁体m的温度的推定精度。由此,能够实现高负载运转时的马达的适当的驱动控制。并且,由于能够稳定地维持在高负载(高压力)区域的泵性能,因而能够缩短排气时间,并能够提高真空处理的生产率。

根据本实施方式,由于根据转子铁芯21(永磁体m)的温度来修正马达20的感应电压常数,因而对于马达20的冷却,不需要容量比较大的冷却结构,能够在不使马达20失步的情况下驱动马达20。这样的效果能够对具有永磁同步型的密封式马达的真空泵的设备成本的降低做出大的贡献。

进而,根据本实施方式,由于将检测驱动电路31的温度的温度传感器42与用于推定转子铁芯21的温度的温度传感器41分开设置,因而能够适当地检测驱动电路31的温度,以保护驱动电路31。

以上,说明了本发明的实施方式,但毫无疑问,本发明不仅限于上述实施方式,可以添加各种变更。

例如,在以上的实施方式中,作为真空泵,列举出机械增压泵为例进行了说明,但并不限于此,本发明能够适用于螺杆泵或多级罗茨泵等其他容积输送型真空泵。

另外,在以上的实施方式中,温度传感器41构成为检测泵主体10的第一壳体部131的温度,但并不限于此,温度传感器41也可以构成为检测隔壁132、133或第二壳体部134的温度。

附图标记说明

10:泵主体、

11s、12s:旋转轴、

20:马达、

21:转子铁芯、

22:定子铁芯、

23:壳、

24:马达机壳、

30:控制单元、

31:驱动电路、

32:位置检测部、

33:sw控制部、

41:第一温度传感器、

42:第二温度传感器、

100:真空泵、

131:第一壳体部、

331:修正电路、

m:永磁体。

再多了解一些
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