一种新型高压双极单管结构的利记博彩app

文档序号:11211037阅读:927来源:国知局
一种新型高压双极单管结构的制造方法与工艺
本实用新型涉及集成电路制造领域,尤其涉及一种新型高压双极单管结构。
背景技术
::目前双极集成电路芯片中的单管都是由基区、发射区、磷桥和埋层组成的,耐压参数最高只能达到100V左右,通过工艺来提升单管的耐压的方案已经做到了极致,为了进一步提高单管的耐压参数,目前通常采用其他DMOS、JFET等其他器件,或者采用双芯片封装的方式来实现产品的整体耐压的提升,但是两种方法有一定的局限:A:采用DMOS、JFET工艺会导致工艺复杂度加大,产品制造成本提升。B:采用双芯片封装后续的封装成本提升。技术实现要素::本实用新型的目的是为了解决现有技术中的问题,提供一种通过新增P-基区、N+环和P-环的结构,使电场分布平缓,提高器件各项耐压参数的新型高压双极单管结构。为了达到上述目的,本实用新型的技术方案是:一种新型高压双极单管结构,包括基板和氧化层,所述基板上设置有的埋层,所述埋层上方靠近氧化层的一侧上设置有磷桥和P-基区,所述P-基区上设置有P基区,所述P基区上设置有N+发射区,所述磷桥与埋层相连;所述P-基区外环绕设置有第一N+环,所述第一N+环外环绕设置有第一P-环,所述磷桥外环绕设置有第二P-环,所述第一P-环和第二P-环外环绕设置有第二N+环,所述基板和氧化层之间填充设置有外延层。所述第一P-环和第二P-环的相连通。所述氧化层上设置有第一引线端、第二引线端和第三引线端,所述第一引线端穿过氧化层与磷桥相连,所述第二引线端穿过氧化层与P基区相连,所述第三引线端穿过氧化层与N+发射区相连。所述第二N+环外环绕设置有隔离层,所述隔离层的上下两侧分别与基板以及氧化层相连。本实用新型的有益效果是:本实用新型的一种新型高压双极单管结构,与现有技术相比,增加了一层副基区层即P-基区,在P-基区上设置P基区和N+发射区,同时在P-基区外环绕设置有第一N+环,第一N+环外环绕设置有第一P-环,磷桥外环绕设置有第二P-环,第一P-环和第二P-环外环绕设置有第二N+环,P-基区、N+环和P-环的结构使电场分布平缓,电场分布较平缓,同时基区的宽度变宽,提高了器件各项耐压参数。附图说明:图1为本实用新型的结构示意图;图2为图1中A-A向的剖视图。具体实施方式:实施例1如图1-2所示的一种新型高压双极单管结构,包括基板(1)和氧化层(9),所述基板(1)上设置有的埋层(2),所述埋层(2)上方靠近氧化层(9)的一侧上设置有磷桥(3)和P-基区(4),所述P-基区(4)上设置有P基区(41),所述P基区(41)上设置有N+发射区(42),所述磷桥(3)与埋层(2)相连。所述P-基区(4)外环绕设置有第一N+环(5),所述第一N+环(5)外环绕设置有第一P-环(6),所述磷桥(3)外环绕设置有第二P-环(61),所述第一P-环(6)和第二P-环(61)外环绕设置有第二N+环(51),所述基板(1)和氧化层(9)之间填充设置有外延层(7)。所述第一P-环(6)和第二P-环(61)的相连通,第一P-环(6)和第二P-环(61)可以共用一条侧边。所述第二N+环(51)外环绕设置有隔离层(8),所述隔离层(8)的上下两侧分别与基板(1)以及氧化层(9)相连,隔离层(8)用来隔离单管内部结构和外部结构。所述氧化层(9)上设置有第一引线端(91)、第二引线端(92)和第三引线端(93),所述第一引线端(91)穿过氧化层(9)与磷桥(3)相连,所述第二引线端(92)穿过氧化层(9)与P基区(41)相连,所述第三引线端(93)穿过氧化层(9)与N+发射区(42)相连。氧化层(9)起到绝缘隔离作用,第一引线端(91)、第二引线端(92)和第三引线端(93)分别对应连接磷桥(3)、P基区(41)以及N+发射区(42),即三极管的集电极、基极和发射极,便于高压双极单管的连接应用。采用本实用新型的高压双极单管结构后,器件单边结在P-基区、N+环和P-环的作用,电场分布较平缓,同时基区的宽度变宽,使得器件的各项耐压得到了明显的提升,以现阶段最高耐压工艺SB60V工艺的单管进行对比,具体数据如下: SB60V工艺本专利工艺Vceo71V≥120VVcbo95V≥200VVcs90V≥150VVbs80V≥150V从数据可以发现,各项耐压参数提升明显,最终能达到120V以上,从而使产品在高压工作时具有优势。本实施例的一种新型高压双极单管结构,与现有技术相比,增加了一层副基区层即P-基区,在P-基区上设置P基区和N+发射区,同时在P-基区外环绕设置有第一N+环,第一N+环外环绕设置有第一P-环,磷桥外环绕设置有第二P-环,第一P-环和第二P-环外环绕设置有第二N+环,P-基区、N+环和P-环的结构使电场分布平缓,电场分布较平缓,同时基区的宽度变宽,提高了器件各项耐压参数。当前第1页1 2 3 
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