一种直写式曝光机的气动门的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种曝光系统，具体是一种激光直写垂直双面曝光系统，属于直写式光刻机快速扫描曝光技术领域。
【背景技术】
[0002]直写式光刻技术是近年来发展较快的、以替代传统的掩膜板式光刻技术的影像直接转移技术，在半导体及PCB生产领域中有着越来越重要的地位。利用该技术可以缩短工艺流程，并降低生产成本。目前市场上主流的直写式光刻机大多以单工件台方式进行扫描曝光，先将被曝光工件的A面曝光完成后，再进行翻版，然后对B面进行曝光。在单工件台系统中，用于曝光的基板的上板、对准、曝光、下板是依次进行的。依据目前的结构系统，各操作流程均已经达到耗时的上限，很难再缩短某个操作步骤的操作时间，即单工件台的直写式光刻机由于各操作流程的串行性质，已很难再提高产能。
【发明内容】
[0003]针对上述现有技术存在的问题，本发明提供一种激光直写垂直双面曝光系统，能够提高产能，大大提高工作的效率。
[0004]为了实现上述目的，本发明采用的一种激光直写垂直双面曝光系统，所述系统包括基座和被曝光工件，其特征在于，所述被曝光工件垂直放置于基座的上方，所述被曝光工件的一端与基座活动连接；在所述被曝光工件的两侧分别设有左移动光路和右移动光路，所述左移动光路和右移动光路分别与被曝光工件垂直。
[0005]所述被曝光工件沿Y方向移动时，所述左移动光路和右移动光路分别沿Z方向移动。
[0006]所述曝光系统能够同时曝光被曝光工件的两面。
[0007]所述被曝光工件包括PCB板和硅片。
[0008]与现有技术相比，本发明中将被曝光工件垂直放置于基座的上方并且能够沿Y轴方向移动，此时，设置在被曝光工件两侧的移动光路分别沿Z轴方向移动，这样能够同时曝光被曝光工件的正反两面，使得工作的效率提升一倍，更好的提高了产能，增加了工作的效率。
【附图说明】
[0009]图1是本发明的结构示意图。
[0010]其中:1、被曝光工件，2、右移动光路，3、基座，4、左移动光路。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图对本发明作进一步说明。
[0012]如图1所示，一种激光直写垂直双面曝光系统，所述系统包括基座3和被曝光工件I，所述被曝光工件I垂直放置于基座3的上方，所述被曝光工件I的一端与基座3活动连接；在所述被曝光工件I的两侧分别设有左移动光路4和右移动光路2，所述左移动光路4和右移动光路2分别与被曝光工件垂直。其中，所述被曝光工件沿Y方向移动时，所述左移动光路4和右移动光路2分别沿Z方向移动。所述曝光系统能够同时曝光被曝光工件I的正反两面。所述被曝光工件I包括PCB板和硅片。
[0013]工作时，将被曝光工件I垂直放置于基座3的上方，被曝光工件I沿着Y轴方向移动，左移动光路4和右移动光路2分别沿Z方向移动对被曝光工件I的正反面进行扫描。
[0014]最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述实施例中所记载的技术方案进行修改，或者进行等同替换。凡在发明的精神和原则内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种直写式曝光机的气动门，包括门框、左门、右门、直线导轨、气缸、气缸连接件、缓冲块，其特征在于，门框装有直线导轨、光电开关和缓冲块，左门、右门通过气缸连接件和气缸固定，气缸用螺钉固定在门框上，接于气缸组件的控制系统；直写式曝光机的气动门主要依靠气缸运动来完成；当左门、右门处于开门状态时，通过电磁阀控制，当压缩空气进入气缸内推动活塞向中间靠拢，使得左门、右门关闭；当左门、右门处于关闭状态时，通过电磁阀控制，当压缩空气进入气缸内推动活塞向两侧相反方向运动，使得左门、右门开启；当只需开一侧门，另一侧门是关闭时，通过电磁阀控制，当压缩空气进入气缸内推动左侧活塞向中间靠拢，使得左侧门关闭。2.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机的气动门，其特征在于:控制系统包括单片机控制器，该单片机控制器接于传感装置。
【专利摘要】本发明公开了一种直写式曝光机的气动门，所采用的工作原理是:左门、右门在气缸的作用下沿直线导轨左右运动，实现气动门的开启和关闭，当气缸活塞移动到一定位置会触发磁性开关，由磁性开关发出一个信号，同时气动门会碰触缓冲块，减速至停止运动。当左门、右门处于开门状态时，通过电磁阀控制，当压缩空气进入气缸内推动活塞向中间靠拢，使得左门、右门关闭。当左门、右门处于关闭状态时，通过电磁阀控制，当压缩空气进入气缸内推动活塞向两侧相反方向运动，使得左门、右门开启。当只需开一侧门，另一侧门是关闭时，通过电磁阀控制，当压缩空气进入气缸内推动左侧活塞向中间靠拢，使得左侧门关闭。即：可以同时控制左门、右门的开启和关闭也可以分别控制左门、右门的开启和关闭。
【IPC分类】G03F7/20
【公开号】CN105068382
【申请号】CN201510457267
【发明人】赵华
【申请人】江苏影速光电技术有限公司
【公开日】2015年11月18日
【申请日】2015年7月30日