密封门装置的利记博彩app

本发明涉及液晶显示面板制造领域，尤其涉及一种液晶显示面板测量设备的密封门。

背景技术：

伴随液晶显示技术正在向高端精细方向发展，对于ltps(lowtemperaturepoly-silicon，简称：低温多晶硅)产品而言，黑色矩阵的线宽从10um到现在4～5um，规格要求越来越细，并且曝光遮罩的形状精度和位置精度的要求从4～5um到现在1.5～2um。对检测设备的精度也就要求更高，线宽检测精度在0.05um以内，精密测长机精度要求在0.3um，因此不仅需要对设备进行防震、测量镜头精度校准，而且最重要的是测量基板需放置于密闭恒温恒湿室中，对设备的温度要求在±0.1℃，防止温度对精密测长机测量误差带来较大影响。

通常无尘室的温度控制在23±0.5℃，精密测长机设备量测时，密封门打开，机械手将玻璃基板搬送到精密测长机腔室内，这一过程中腔室内与外界是相通的，若密封门关闭不够紧密，外界温度的变化对精密测长机的精度总是会有影响。

现有技术的精密测长机，用于封闭腔室的密封门为双开门设计，并且需要在精密测长机的表面设置轨道，轨道中存在缝隙，难以实现对腔室的紧密封闭，而且，密封门在开启及关闭的过程中，两扇门相对运动，两门之间空气流速加快，从而加速了腔室内外空气交换，导致腔室内温度不稳定，进一步影响精密测长机的测量精度。

技术实现要素：

本发明提供一种密封门装置，为一体式密封门，能够对精密测长机的腔室进行较好地密封，以解决双开门式密封门的轨道设计会影响腔室密封效果，导致腔室内温度不稳定，进而影响测量精度的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种密封门装置，用于对精密测长机的基板进出口进行密闭，其特征在于，包括：

一密封门，贴附于所述基板进出口所在平面，且可平移至所述基板进出口；以及

驱动机构，包括有驱动电机、齿轮以及连接于所述密封门两端的驱动螺杆；其中，

所述驱动电机连接所述齿轮，位于所述密封门至少一端的所述驱动螺杆套接于所述齿轮的中心，通过齿轮驱动所述驱动螺杆以自身中心线为轴旋转，使得所述密封门在所述驱动螺杆上移动。

根据本发明一优选实施例，所述密封门在所述基板进出口所在平面上垂直移动。

根据本发明一优选实施例，所述密封门的一端螺接第一驱动螺杆，所述密封门的相对另一端螺接第二驱动螺杆，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆相互平行，并且，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆均垂直于所述精密测长机底部。

根据本发明一优选实施例，所述驱动电机的输出轴连接第一齿轮，所述第一驱动螺杆套接于第二齿轮的中心，所述第一齿轮与所述第二齿轮相啮合。

根据本发明一优选实施例，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆之间通过传动机构连接；其中

所述传动机构包括：

第一伞形齿轮，套接于所述第一驱动螺杆上；

第二伞形齿轮，与所述第一伞形齿轮相啮合，以改变所述第一伞形齿轮的传动方向；

第三伞形齿轮，套接于所述第二驱动螺杆上；

第四伞形齿轮，与所述第三伞形齿轮相啮合，以驱动所述第三伞形齿轮运转；以及

传动连杆，垂直于所述第一驱动螺杆及第二驱动螺杆，所述传动连杆的一端连接所述第二伞形齿轮，所述传动连杆的相对另一端连接所述第四伞形齿轮。

根据本发明一优选实施例，所述基板进出口所在平面上，位于所述密封门行程的一端设置有第一挡板，所述第一挡板内侧设置有第一缓冲垫，位于所述密封门行程的另一端设置有第二挡板，所述第二挡板内侧设置有第二缓冲垫。

根据本发明一优选实施例，所述基板进出口所在平面上设置有止位传感器，所述密封门上设置有与所述止位传感器相匹配的识别器，所述止位传感器电性连接所述驱动机构。

根据本发明一优选实施例，所述密封门的端部设置有连接套筒，所述连接套筒内表面形成有螺纹，所述连接套筒套设于所述驱动螺杆上，且与所述驱动螺杆螺接。

根据本发明一优选实施例，所述密封门朝向所述基板进出口的一端形成有斜面，所述斜面朝向所述基板进出口的外部。

根据本发明一优选实施例，所述密封门端部的斜面与所述密封门外表面的连接处形成圆弧过渡面。

本发明的有益效果为：相较于现有的密封门，本发明所提供的一体式密封门，贴附于机体表面设置，密闭时具有较佳的密封效果，密封门及驱动机构结构简单，便于拆洗；解决了双开门式密封门的轨道设计会影响腔室密封效果，导致腔室内温度不稳定，进而影响测量精度的技术问题。

附图说明

为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明密封门装置结构示意图。

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。

本发明针对现有的双开门式密封门，轨道的设计会影响腔室密封效果，导致腔室内温度不稳定，进而影响测量精度的技术问题，本实施例能够解决该缺陷。

本发明所提供的密封门装置，包括：一密封门，用于封闭精密测长机的基板进出口，所述基板进出口开设于所述精密测长机的一侧表面，所述基板进出口用于基板的进入及移出；所述密封门贴附于所述基板进出口所在平面，且可贴附在平面上平移至所述基板进出口；以及驱动机构，包括有驱动电机、齿轮以及连接于所述密封门两端的驱动螺杆；其中，所述驱动电机连接所述齿轮，位于所述密封门至少一端的所述驱动螺杆套接于所述齿轮的中心，通过齿轮驱动所述驱动螺杆以自身中心线为轴旋转，使得所述密封门在所述驱动螺杆上移动。

如图1所示，本发明实施例的密封门装置，包括一体式的密封门101，所述密封门101贴附于精密测长机102的一侧表面，基板进出口103开设于所述精密测长机102一侧表面，且与所述密封门101位于所述精密测长机102的同一侧；所述密封门101贴附于所述精密测长机102表面平移；所述基板进出口103在打开时，所述密封门101平移至所述基板进出口103的一端，所述基板进出口103需要关闭时，所述密封门101平移至所述基板进出口103所在区域，并覆盖所述基板进出口103。

所述密封门101由驱动机构驱动平移。

所述驱动机构包括：第一驱动螺杆104，位于所述密封门101的一端，通过第一固定件105与所述密封门101连接，所述第一固定件105螺接于所述第一驱动螺杆104；第二驱动螺杆106，位于所述密封门101的相对另一端，通过第二固定件107与所述密封门101连接；所述第二固定件107螺接于所述第二驱动螺杆106；所述第一驱动螺杆104与所述第二驱动螺杆106相互平行，并且，所述第一驱动螺杆104与所述第二驱动螺杆106垂直于所述精密测长机102的底部；例如，所述第一驱动螺杆104与所述第二驱动螺杆106位于所述精密测长机102边缘的外侧，以避免驱动螺杆阻挡所述密封门101与所述基板进出口103所在平面之间的贴合，又如，所述第一驱动螺杆104与所述第二驱动螺杆106位于所述密封门101贴附面的另一面，同样能解决所述密封门101与所述基板进出口103所在平面之间的贴合问题。

所述第一固定件105、第二固定件107为固定于所述密封门101端部的连接套筒，所述连接套筒内表面形成有螺纹，所述连接套筒套设于驱动螺杆上，且与驱动螺杆螺接。

通过驱动所述第一驱动螺杆104与第二驱动螺杆106的至少一驱动螺杆旋转，可使所述密封门101移动；螺接于驱动螺杆的固定件，其内表面的螺纹为静止状态，且固定件的外部与所述密封门101固定连接，使得固定件内表面的螺纹与驱动螺杆外表面的螺纹形成抵触，当驱动螺杆旋转时，驱动螺杆外表面的螺纹为传动状态，逼迫固定件在驱动螺杆上移动，通过控制驱动螺杆向不同方向旋转以控制固定件的移动方向，进而实现密封门101对基板进出口103的开闭。

所述第一驱动螺杆104的旋转通过驱动电机驱动，所述驱动电机可以为伺服马达108；进一步，所述伺服马达108的输出轴连接第一齿轮，所述第一齿轮啮合有第二齿轮，所述第一驱动螺杆104贯穿所述第二齿轮的中心，并与所述第二齿轮固定连接，所述第二齿轮的位置远离所述基板进出口103；所述伺服马达108驱动所述第一齿轮旋转，所述第一齿轮带动所述第二齿轮旋转，进而使所述第一驱动螺杆104旋转；所述第一齿轮与所述第二齿轮位于第一齿轮箱109，用以固定所述第一齿轮与所述第二齿轮的位置。

例如，所述第二驱动螺杆106的旋转也可通过驱动电机驱动，具体结构及工作原理与所述第一驱动螺杆104的驱动方式相同，此处不再赘述。

又如，所述第二驱动螺杆106藉由所述第一驱动螺杆104的动力传动；所述第二驱动螺杆106通过传动机构连接所述第一驱动螺杆104；其中，所述所述传动机构包括：第一伞形齿轮，套接于所述第一驱动螺杆104上；第二伞形齿轮，与所述第一伞形齿轮相啮合，以改变所述第一伞形齿轮的传动方向；第三伞形齿轮，套接于所述第二驱动螺杆106上；第四伞形齿轮，与所述第三伞形齿轮相啮合，以驱动所述第三伞形齿轮运转；以及传动连杆112，垂直于所述第一驱动螺杆104及第二驱动螺杆106，所述传动连杆112的一端连接所述第二伞形齿轮，所述传动连杆112的相对另一端连接所述第四伞形齿轮；所述第一伞形齿轮与所述第二伞形齿轮位于第二齿轮箱110，用于固定所述第一伞形齿轮与所述第二伞形齿轮的位置；所述第三伞形齿轮与所述第四伞形齿轮位于第三齿轮箱111，用以固定所述第三伞形齿轮与所述第四伞形齿轮的位置。

在驱动所述密封门101移动时，所述伺服马达108驱动所述第一驱动螺杆104转动，使得套接于所述第一驱动螺杆104上的第一伞形齿轮转动，所述第一伞形齿轮带动与其相啮合的第二伞形齿轮转动，所述第二伞形齿轮带动所述传动连杆112旋转，同时，所述传动连杆112带动位于其另一端的第四伞形齿轮转动，所述第四伞形齿轮带动与其相啮合的第三伞形齿轮转动，与所述第三伞形齿轮固定连接的第二驱动螺杆106旋转，进而带动螺接于所述第二驱动螺杆106上的连接套筒移动，从而配合所述第一驱动螺杆104驱动所述密封门101移动。

在所述基板进出口103所在平面、且位于所述密封门101行程的一端设置第一挡板，在所述第一挡板内侧设置第一缓冲垫，在位于所述密封门101行程的另一端设置第二挡板，在所述第二挡板内侧设置第二缓冲垫；在所述密封门101两个方向的止位端分别设置一缓冲垫，以保护密封门101边缘免受撞击。

在所述基板进出口103所在平面上设置止位传感器，在所述密封门101上设置与所述止位传感器相匹配的识别器，所述止位传感器电性连接所述驱动机构；从而，当所述密封门101上升至能够封闭所述基板进出口103的位置时，所述密封门101上的识别器与所述止位传感器近距离接触以完成适配，所述止位传感器将适配信息发送至控制端，所述控制端使所述伺服马达108停止运行；当需要开启所述基板进出口103时，可驱动所述第一驱动螺杆104反转，进而使所述密封门101下降至止位点。

将所述密封门101朝向所述基板进出口103的一端设置为斜面，并使所述斜面朝向所述基板进出口103的外部，因此，通过缩小所述密封门101端部的面积，以减小所述密封门101在移动过程中对空气流速的影响，进而减缓所述精密测长机102的腔室内外空气的交换，以稳定所述腔室内的温度。

优选的，所述密封门101端部的斜面与所述密封门101外表面的连接处形成圆弧过渡面，空气过渡平滑，从而减小所述斜面与所述密封门101外表面的连接处对空气流速的影响。

有益效果为：相较于现有的双开门式密封门，本发明所提供的一体式密封门，贴附于机体表面设置，密闭时具有较佳的密封效果，密封门及驱动机构结构简单，便于拆洗；解决了双开门式密封门的轨道设计会影响腔室密封效果，导致腔室内温度不稳定，进而影响测量精度的技术问题。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。