微观装置的制造及其处理技术
  • 芯片内置电路板、组合传感器及电子设备的利记博彩app
    本发明涉及传感器,特别涉及一种芯片内置电路板、应用该芯片内置电路板的组合传感器及应用该组合传感器的电子设备。传感器作为检测器件,已普遍应用在手机、笔记本电脑、平板电脑以及穿戴设备之中。近年来,随着科技的快速发展,微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical...
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  • 地磁传感器件及其制造方法与流程
    本公开涉及半导体,更具体地,涉及一种地磁传感器件及其制造方法。微机械系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)与集成电路(integratedcircuit,IC)目前是半导体产业最重要的两个发展领域。在全球科技迅速发展的推动下,MEMS与I...
  • 地磁传感器件及其制造方法与流程
    本公开涉及半导体,更具体地,涉及一种地磁传感器件及其制造方法。微机械系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)与集成电路(integratedcircuit,IC)目前是半导体产业最重要的两个发展领域。在全球科技迅速发展的推动下,MEMS与I...
  • 一种基于光热作用微泡的微组装系统的利记博彩app
    本实用新型涉及金属纳米材料,具体涉及一种基于光热作用微泡的微组装系统。纳米材料是未来社会发展极为重要的物质基础,在玻璃、金属、半导体等表面制备出微纳结构,能够改善材料的表面性能,从而开发更多样的纳米材料,并应用所制备的材料为人类的生产和生活提供便利。而在金属薄膜上形成拱顶形或环装纳...
  • 基于MEMS工艺制备CIGS薄膜太阳能电池的方法与流程
    本发明属于微机工艺的太阳能电池,尤其涉及一种以MEMS工艺制作铜铟镓硒CIGS薄膜太阳电池的方法。能源危机和环境污染是当今全球所面临的两大基本问题。Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜对可见光吸收系数高,禁带宽度合适,抗辐射能力强、电池性能稳定、弱光性好等优点,被认为是最有前途...
  • 一种微机械静电驱动的弧形梳齿结构的利记博彩app
    本发明涉及一种微机械静电驱动,特别是一种微机械静电驱动的弧形梳齿结构。静电驱动是微机械驱动技术的一种重要方式,在目前的MEMS领域有广泛的应用。目前在静电驱动结构中最常见的是矩形平板式梳齿阵列结构。但是目前的矩形梳齿静电驱动器存在着驱动力偏小、驱动电压过高的问题。而微机电器件的应用...
  • 一种微结构操作方法及操作装置与流程
    本发明涉及微结构,特别涉及一种微结构装配方法,还涉及一种微结构的装配装置。近年来,随着微机电系统、光学成像、显微医疗等领域技术水平的快速发展,微操作技术越来越引起人们的重视。微操作技术对于未来的微纳米技术,小型化、功能化和集成设备的制造有着不可替代的地位。不同于宏观领域操作,微观尺...
  • 一种具有定向运输功能的超疏水表面的制备方法与流程
    本发明涉及超疏水表面加工处理领域,具体地说是涉及一种具有定向运输功能的超疏水表面的制备方法。超疏水表面是一种受“荷叶效应”启发所制备的仿生功能性表面,通常其水滴接触角大于150°,滚动角小于10°。荷叶表面的微米乳突状结构上还存在着纳米结构,这种微纳复合结构对超疏水性有重要的影响,正是由于...
  • 一种基于MEMS工艺的多层结构离子源芯片及质谱分析进样系统的利记博彩app
    本发明涉及一种质谱分析设备,尤其是一种基于MEMS工艺的多层结构离子源芯片及质谱分析进样系统。质谱分析法是根据带电粒子在电磁场中能够偏转的原理,按物质原子、分子或分子碎片的质量差异进行分离和检测的方法。传统机械加工方法导致质谱仪体积庞大、价格昂贵、操作步骤繁杂、不能对样品实时快速检...
  • 一种在阳极键合中应用的PEG基复合固体聚合物电解质的制备工艺的利记博彩app
    本发明属于阳极键合材料制备领域,特别是涉及一种在阳极键合中应用的PEG基复合固体聚合物电解质的制备工艺。微机电系统(MEMS)被誉为信息革命的再一次技术浪潮。阳极键合技术是MEMS封装的有效手段,但现有的阳极键合封装工艺及封装键合材料仍然存在许多亟待解决的问题,而工艺方面的问题也主要是由于...
  • 一种动态快速调控红外光透过率的柔性器件及其制备方法和应用与流程
    本发明属于柔性器件制备,具体涉及一种动态快速调控红外光透过率的柔性器件及其制备方法和应用。全球气候变暖是全人类共同面对的问题。人们不断探索新的有效方法来减少气候变化对人类带来的危害。能源技术的更新换代越来越快,与经济的发展也紧密相连。目前,人们探索到的有效的解决方法之一是节能工程。...
  • MEMS SOI晶圆以及MEMS传感器的利记博彩app
    本实用新型涉及一种MEMSSOI晶圆及制备方法以及应用该MEMSSOI晶圆和制备方法的MEMS传感器及其制备方法,属于MEMS传感器。MEMS膜结构对于MEMS传感器来说,尤其是MEMS压力传感器,具有举足轻重的地位。早期的MEMS膜结构通常采用半导体工艺传统的各向异性湿法腐蚀...
  • 一种微电极阵列的制备方法与流程
    本发明涉及感光凝胶,尤其涉及一种微电极阵列的制备方法。微电极阵列具有尺寸小、集成度高、具有非常高的传质速率及电极信噪比、相应速度快、灵敏度高等优点,在电化学、传感器、微电子等领域具有十分广泛的应用。传统的薄膜微电极阵列主要借助于MEMS中的光刻技术。该方法利用感光介质的光学-化学反...
  • 电连接方法及半导体结构与流程
    本发明涉及MEMS晶圆的封装制造领域,尤其是涉及一种电连接方法及半导体结构。微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,简称MEMS),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,是集微传感器、微执行器、微机械结...
  • 在微电子机械系统(MEMS)器件的叉指式电容器中形成偏移的利记博彩app
    本公开涉及微电子机械系统领域。微电子机械系统(MEMS)器件可以包括使用微加工技术制造的器件,诸如换能器、传感器、致动器等。MEMS器件可以通过测量换能器的物理状态的变化并且将已转换信号传送到与MEMS器件连接的处理电子器件来感测来自环境的信息。MEMS器件可以使用类似于用于集成电路的微加...
  • 用于处理微机电系统组件的方法与流程
    本发明实施例涉及一种用于处理微机电系统(MEMS)组件的方法。微机电系统(Microelectro-mechanicalsystem;MEMS)运动传感器现广泛用于汽车用电子设备、医疗设备、硬盘驱动器以及便携式消费电子产品。举例来说,典型的智能手机包括MEMS加速度计、陀螺仪以及可...
  • MEMS传感器以及提供和运行MEMS传感器的方法与流程
    本公开涉及MEMS传感器,特别是用于与流体相互作用的MEMS传感器,例如MEMS麦克风或MEMS压力传感器。本公开还涉及提供这种MEMS传感器的方法以及运行MEMS传感器的方法。本公开还描述了MEMS麦克风的鲁棒读出。MEMS传感器可以使用不同的物理效应来执行传感测量。这种情况的一个例子是...
  • 具有偏向控制的压电麦克风及其制造方法与流程
    本揭示内容是有关于半导体制造以及有关于所产生的装置。特别是,本揭示内容是有关于一种具有偏向控制且防止粘滞(stiction)的压电麦克风。压电麦克风为通过与实体接触来感测声频振动且对空气不敏感的一种装置。压电麦克风可用来作为漏音探针与用于气体声学测试,且有不限于空气的许多其他用途。请参考图...
  • 一种基于溶剂蒸发的微米级凹坑生成方法与流程
    本发明涉及微纳米器件制备领域,特指一种基于溶剂蒸发的微米级凹坑的批量制备方法和工艺过程。微米级凹坑是一种尺寸在几微米到几百微米的凹坑,它在细胞生长、化学微反应器、光子晶体成核以及纳米气泡液滴成核方面都有着广阔的应用前景。目前已有多种方法用于制备微米级凹坑,如软光刻法、溶剂液滴腐蚀法以及模板...
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